甘志银，华中科技大学工艺装备及自动化系教授

教学工作

微机电系统基础与应用、微纳系统仿真、工程光学、量子力学

研究领域

微纳材料与器件设计与仿真、半导体工艺装备设计与制造

研究方向

目前主要从事计算物理、MEMS/NEMS系统设计及仿真、MEMS制造工艺与设备、半导体工艺设备设计与制造等研究

科研项目：

MOCVD新型反应腔设计、LED缺陷抑制和量子效率调控（“973计划”2011CB013100-G子课题）2011.11-2016.11 国家科技部（720万）
半导体照明用生产型MOCVD设备的自主研制（2009A011602004） 2009.10-2012.02 广东省科技厅（150万）
高产能智能MOCVD设备的研制及产业化（2011A081301007） 2011.11-2013.11 广东省科技厅（2000万）
基于定向生长CNT电磁对准的感应热压键合技术研究51075171 国家自然科学基金面上项目2011.01-2013.12(22.8万)
面向跨微纳尺度MEMS设计的建模仿真平台研究2007AA04Z348 863先进制造领域 2007.12-2009.8 (39万)
100lm/W 功率型白光LED 研究和产业化2008AA03A184 863先进制造领域2009.01-2012.12 (40万)